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入口/出口直徑

6.4 mm

9.525 mm

22mm ISO漸縮

12.7 mm

19.1 mm

氣體校準

空氣、O2 、N2(41403還包括N2O)

空氣、O2 、N2(41433還包括N2O)

空氣、O2 、N2 、空氣和 O2 的混合氣體

LCD 顯示單位

L/min，Std L/min，cm3 /min,Std cm3 /min

L/min，Std L/min

流量測量

范圍

0.01~20 Std L/min

0 ~300 StdL/min

0 ~200 StdL/min

0 ~300 StdL/min

誤差

空氣和 O2 : 讀數(shù)的± 2% 或 0.005 StdL/min,較大值

N2 O,N2 : 讀數(shù)的± 3% 或 0.010 Std L/min,較大值

空氣和 O2 ：讀數(shù)的±2%或 0.05 Std L/min,較大值

空氣 /O2 混合氣體,N2 ：讀數(shù)的± 3% 或 0.1 StdL/min,較大值

響應(yīng)時間

4ms(滿量程的 63%)

4ms (滿量程的 63%)

尺寸

127 × 49 × 32mm

182 × 63 × 53mm

體積測量*

范圍

0.01~99.9 L

誤差

讀數(shù)的± 2%

壓力測量

范圍

50~199 kPa (*對壓強)

誤差

± 1kPa

響應(yīng)時間

<4ms(63% *終值，階躍變化)

溫度測量

范圍

0~50℃

誤差

± 1℃(流量大于 1 Std L/min)

響應(yīng)時間

<75ms(63% *終值，階躍變化)

模擬輸出

0~10V 直流，僅流量?？缍瓤烧{(diào)(通過 RS232)

數(shù)字輸出

RS232

直流電源輸入

7.5 ± 1.5V，電流峰值 300mA

入口/出口直徑

6.4 mm

9.525 mm

22mm ISO漸縮

19.1 mm

氣體校準

空氣 y=1、O2 y=2、N2 y=6( 訂購時請通過 y 值來選擇空氣、O2 或 N2 )

流量測量

范圍

0.01~20 Std L/min

0 ~300 Std L/min

誤差

空氣和 O2 ：讀數(shù)的± 2% 或 0.005 Std L/min,較大值

N2：讀數(shù)的± 3% 或 0.010 Std L/min,較大值

空氣和 O2 ：讀數(shù)的± 2% 或0.05 Std L/min,較大值

空氣 /O2 混合氣體,N2 ：讀數(shù)的± 3% 或 0.1 Std L/min,較大值

響應(yīng)時間

4ms(滿量程的 63%)

尺寸

127 × 49 × 29mm

182 × 63 × 38mm

體積測量*

范圍

0.01~99.9 L

誤差

讀數(shù)的± 2%

溫度測量

范圍

0~50℃

誤差

± 1℃(流量大于 1 Std L/min)

響應(yīng)時間

<75ms(63% *終值，階躍變化)

模擬輸出

0~4VDC，僅流量?？缍瓤烧{(diào)(通過 RS232)

數(shù)字輸出

RS232

直流電源輸入(用戶提供)

5.0VDC ± 0.25V，電流峰值 300mA

推*過濾器

HEPA 級別的過濾器

附件

RS232 和模擬輸出接口電纜